ก่อนทศวรรษที่ 1930 มีเพียงเยอรมนีและฝรั่งเศสเท่านั้นที่สามารถผลิตเครื่องผลิตออกซิเจนได้ในเวลานั้น เครื่องกำเนิดออกซิเจน (เครื่องกำเนิดออกซิเจนแบบดูดซับแรงดันแปรผัน) สามารถตอบสนองความต้องการในการเชื่อมและการตัดอุปกรณ์การผลิตออกซิเจนและไนโตรเจนที่จำเป็นสำหรับอุตสาหกรรมเคมีเท่านั้นการผลิตเครื่องกำเนิดออกซิเจนส่วนใหญ่เป็นขนาดเล็กและขนาดกลาง โดยมีกำลังการผลิต 2 ลบ.ม./ชม. ถึง 600 ลบ.ม./ชม. และประมาณ 200 ชนิดเดอะเครื่องผลิตออกซิเจนกระบวนการที่ใช้คือกระบวนการแรงดันสูงและแรงดันปานกลาง
ตั้งแต่ปี 1930 ถึง 1950 นอกจากเยอรมนีและฝรั่งเศสแล้ว ประเทศอื่นๆ เช่น สหภาพโซเวียต ญี่ปุ่น สหรัฐอเมริกา และสหราชอาณาจักรก็เริ่มผลิตเครื่องกำเนิดออกซิเจนเช่นกันในช่วงเวลานี้ ด้วยการพัฒนาของการผลิต ขอบเขตการใช้งานของเครื่องกำเนิดออกซิเจน (เครื่องกำเนิดออกซิเจนแบบดูดซับแรงดันผันแปร) ได้รับการขยายและการพัฒนาเครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาดใหญ่ได้รับการส่งเสริมเนื่องจากไฟฟ้าและวัสดุโลหะที่จำเป็นในการผลิตออกซิเจน 1 ลบ.ม. ในเครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาดใหญ่นั้นสูงกว่าเครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาดเล็กและขนาดกลาง ความหลากหลายของเครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาดใหญ่จึงเพิ่มขึ้นจากปี 1930 ถึง 1950 เช่น 5,000 ลบ.ม./ชม. เยอรมนีตะวันตก 3,600 ลบ.ม./ชม. ในสหภาพโซเวียต และ 3,000 ลบ.ม./ชม. ในญี่ปุ่นกระบวนการที่ใช้ในขณะนั้นนอกจากแรงดันสูงและปานกลางแล้วก็เริ่มใช้กระบวนการแรงดันสูงและต่ำในปี 1932 เยอรมนีใช้เครื่องกำเนิดออกซิเจนเป็นครั้งแรกในอุตสาหกรรมโลหะวิทยาและแอมโมเนีย
หลังปี 1950 นอกจากเครื่องกำเนิดออกซิเจน (เครื่องกำเนิดออกซิเจนแบบดูดซับแรงดันแปรผัน) ที่ผลิตในประเทศข้างต้นแล้ว ยังมีจีน สาธารณรัฐเช็ก เยอรมนีตะวันออก ฮังการี อิตาลี ฯลฯ (จีนเป็นผู้พัฒนาช่วงปลาย ).
เนื่องจากการพัฒนาของอุตสาหกรรมเหล็ก อุตสาหกรรมปุ๋ยไนโตรเจน และเทคโนโลยีจรวด การบริโภคออกซิเจนและไนโตรเจนจึงเพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็ว ซึ่งได้ส่งเสริมการพัฒนาขนาดใหญ่ของเครื่องกำเนิดออกซิเจนตั้งแต่ปี 1957 เครื่องผลิตออกซิเจนขนาด 10,000 ลบ.ม./ชม. ได้ถูกนำมาใช้อย่างต่อเนื่องตั้งแต่ปี พ.ศ. 2510 ตามสถิติที่ยังไม่สมบูรณ์ มีเครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาดใหญ่ 87 เครื่องที่มีอัตราการไหลมากกว่า 20,000 ลบ.ม./ชม. เครื่องที่ใหญ่กว่าคือ 50,000 ลบ.ม./ชม. และเครื่องที่ใหญ่กว่านี้อยู่ระหว่างการพัฒนา
ในช่วง 20 ปีที่ผ่านมา ผลิตภัณฑ์ได้เพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็วและค่อยๆ ก่อตัวเป็นชุดตัวอย่างเช่น เครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาดใหญ่ของ West Germany Linde มีผลิตภัณฑ์ทั่วไป 1,000 ~ 40,000 ลบ.ม. / ชม.ญี่ปุ่น kobelco มีของซีรีส์;ญี่ปุ่นฮิตาชิผลิต TO ทุกรุ่น;Japan Oxygen มีประเภท NR;สหราชอาณาจักรมีผลิตภัณฑ์ซีรีส์ 50 ~ 1,500 ตัน/วันในขณะเดียวกัน เครื่องผลิตออกซิเจนขนาดใหญ่โดยทั่วไปจะใช้กระบวนการแรงดันต่ำทั้งหมด
กล่าวโดยย่อ การพัฒนาเครื่องกำเนิดออกซิเจน (เครื่องกำเนิดออกซิเจนแบบดูดซับแรงดันแปรผัน) เป็นกระบวนการที่ไม่สมบูรณ์ และอุปกรณ์ได้รับการพัฒนาจากขนาดเล็กและขนาดกลางไปจนถึงขนาดใหญ่กระบวนการนี้พัฒนาจากความดันสูง (200 บรรยากาศ) ความดันปานกลาง (50 บรรยากาศ) และความดันสูงและต่ำเป็นความดันต่ำเต็มที่ (6 บรรยากาศ) ซึ่งช่วยลดการใช้พลังงานต่อหน่วยและการใช้วัสดุโลหะของเครื่องกำเนิดออกซิเจนและขยายการทำงาน รอบ